Синтез оксинитрида кремния в режиме фильтрационного горения смеси кремния и его оксида в азоте - davaiknam.ru o_O
Главная
Поиск по ключевым словам:
страница 1
Похожие работы
Название работы Кол-во страниц Размер
Чтп уп «Ламитех» +375 29 659-81-69 (Velcom) 1 24.11kb.
Группа компаний «Магитэ» научные исследования и производство 1 23kb.
Механизмы образования отрицательных ионов нитроароматических соединений... 1 31.2kb.
Имплантационный метод улучшения качества наноструктур кремния на... 1 27.01kb.
Ферросилиций используют в качестве раскисляющих и легирующих добавок... 1 95.09kb.
Применение сорбентов для очистки водорода в газохроматографическом... 1 22.97kb.
Лазерный метод структурирования поверхности монокристаллического... 1 58.05kb.
Синтез диоксида кремния и изготовление керамических изделий на его... 1 62.49kb.
Технология прямого сращивания пластин кремния с использованием химической... 6 453.75kb.
Оксидирование тонкопленочных разбавленных твердых растворов fe Ni 1 7.42kb.
Эффект Холла и магнетосопротивление неупорядоченных магнитных систем... 1 270.74kb.
Способ изготовления мембранного фильтра 1 33.3kb.
Направления изучения представлений о справедливости 1 202.17kb.

Синтез оксинитрида кремния в режиме фильтрационного горения смеси кремния и его оксида - страница №1/1

Синтез оксинитрида кремния в режиме фильтрационного горения смеси кремния и его оксида в азоте
Соискатель научной степени первого года обучения, м.н.с. Студеникин И. А.

Научный руководитель к.ф.-м.н. Грачёв В. В.
Оксинитрид кремния, Si2N2O, является перспективным материалом для изготовления изделий из современной керамики. Также как и нитрид кремния, Si3N4, оксинитрид хороший диэлектрик и обладает высокими механическими свойствами при повышенных температурах. Но по сравнению с нитридокремниевой, оксинитридная керамика обладает повышенной окалиностойкостью вследствие того, что этот материал уже частично окислен. Порошок из Si2N2O спекается лучше, чем из Si3N4, поэтому уменьшаются энергетические затраты и время спекания изделий из оксинитрида при использовании современных методов порошковой металлургии. Также оксинитрид кремния является перспективным активатором спекания (в комплексе с традиционными MgO, Al2O3, Y2O3) для порошков нитрида и карбида кремния.

Одним из перспективных методов получения оксинитрида кремния является процесс самораспростроняющегося высокотемпературного синтеза.



На первом этапе проведённого в ИСМАН исследования по изучению твердопламенного фильтрационного горения в системе Si-N-O показана принципиальная возможность СВС оксинитрида кремния для составов Si-SiO2, Si-SiO2-Si3N4 под давлением газообразного азота (100 атм). При этом были выявлены следующие особенности горения в этой системе:

  1. Плавление и коагуляция в волне горения исходных компонентов – Si и SiO2, приводящее к уменьшению глубины реагирования кремния.

  2. Многофазность – в конечном продукте помимо Si2N2O присутствуют - и -Si3N4, а также рентгеноаморфная SO2 и остаточный Si.

Поэтому целью данной работы было поставлено решение задач:

  1. Устранение коагуляции Si и SiO2 в волне горения, путём смягчения условий синтеза посредством введения в исходную шихту инертного тугоплавкого разбавителя (Si3N4) и снижения давления азота.

  2. Получения возможно более однофазного конечного продукта, содержащего только Si2N2O.

В ходе проведённого исследования были получены следующие результаты:

  1. Введение тугоплавкого разбавителя Si3N4 шихту (до 20 %) позволяет уменьшить коагуляцию Si и SiO2 в волне горения и тем самым увеличить содержание азота в конечном продукте.

  2. Снижение начального давления азота в реакторе (со 140 до 50 атм) приводит к повышению степени химического превращения Si и увеличению содержания Si2N2O в конечном продукте.

  3. Продукт, содержащий максимальное количество оксинитрида кремния, получается при горении состава Si-SiO2 при низком давлении азота. Также увеличению выхода оксинитрида и уменьшению коагуляции способствует введение в исходную шихту как разбавителя конечного продукта.

  4. Использование нитрида кремния для разбавления исходной шихты и смягчения условий синтеза не устраняет многофазность продукта, поскольку прямая реакция SiO2 + Si3N4 → 2 Si2N2O протекает в волне горения не до конца.





Рассказчику анекдотов нужна хорошая память и твердая вера в отсутствие памяти у других. Янина Ипохорская
ещё >>