Название работы	Кол-во страниц	Размер
Чтп уп «Ламитех» +375 29 659-81-69 (Velcom)	1	24.11kb.
Группа компаний «Магитэ» научные исследования и производство	1	23kb.
Механизмы образования отрицательных ионов нитроароматических соединений...	1	31.2kb.
Имплантационный метод улучшения качества наноструктур кремния на...	1	27.01kb.
Ферросилиций используют в качестве раскисляющих и легирующих добавок...	1	95.09kb.
Применение сорбентов для очистки водорода в газохроматографическом...	1	22.97kb.
Лазерный метод структурирования поверхности монокристаллического...	1	58.05kb.
Синтез диоксида кремния и изготовление керамических изделий на его...	1	62.49kb.
Технология прямого сращивания пластин кремния с использованием химической...	6	453.75kb.
Оксидирование тонкопленочных разбавленных твердых растворов fe Ni	1	7.42kb.
Эффект Холла и магнетосопротивление неупорядоченных магнитных систем...	1	270.74kb.
Способ изготовления мембранного фильтра	1	33.3kb.
Направления изучения представлений о справедливости	1	202.17kb.

Синтез оксинитрида кремния в режиме фильтрационного горения смеси кремния и его оксида в азоте
Соискатель научной степени первого года обучения, м.н.с. Студеникин И. А.

Научный руководитель к.ф.-м.н. Грачёв В. В.
Оксинитрид кремния, Si₂N₂O, является перспективным материалом для изготовления изделий из современной керамики. Также как и нитрид кремния, Si₃N₄, оксинитрид хороший диэлектрик и обладает высокими механическими свойствами при повышенных температурах. Но по сравнению с нитридокремниевой, оксинитридная керамика обладает повышенной окалиностойкостью вследствие того, что этот материал уже частично окислен. Порошок из Si₂N₂O спекается лучше, чем из Si₃N₄, поэтому уменьшаются энергетические затраты и время спекания изделий из оксинитрида при использовании современных методов порошковой металлургии. Также оксинитрид кремния является перспективным активатором спекания (в комплексе с традиционными MgO, Al₂O₃, Y₂O₃) для порошков нитрида и карбида кремния.

Одним из перспективных методов получения оксинитрида кремния является процесс самораспростроняющегося высокотемпературного синтеза.

На первом этапе проведённого в ИСМАН исследования по изучению твердопламенного фильтрационного горения в системе Si-N-O показана принципиальная возможность СВС оксинитрида кремния для составов Si-SiO₂, Si-SiO₂-Si₃N₄ под давлением газообразного азота (100 атм). При этом были выявлены следующие особенности горения в этой системе:

1. 
   Плавление и коагуляция в волне горения исходных компонентов – Si и SiO₂, приводящее к уменьшению глубины реагирования кремния.
   
2. 
   Многофазность – в конечном продукте помимо Si₂N₂O присутствуют - и -Si₃N₄, а также рентгеноаморфная SO₂ и остаточный Si.
   

Поэтому целью данной работы было поставлено решение задач:

1. 
   Устранение коагуляции Si и SiO₂ в волне горения, путём смягчения условий синтеза посредством введения в исходную шихту инертного тугоплавкого разбавителя (Si₃N₄) и снижения давления азота.
   
2. 
   Получения возможно более однофазного конечного продукта, содержащего только Si₂N₂O.
   

В ходе проведённого исследования были получены следующие результаты:

1. 
   Введение тугоплавкого разбавителя Si₃N₄ шихту (до 20 %) позволяет уменьшить коагуляцию Si и SiO₂ в волне горения и тем самым увеличить содержание азота в конечном продукте.
   
2. 
   Снижение начального давления азота в реакторе (со 140 до 50 атм) приводит к повышению степени химического превращения Si и увеличению содержания Si₂N₂O в конечном продукте.
   
3. 
   Продукт, содержащий максимальное количество оксинитрида кремния, получается при горении состава Si-SiO₂ при низком давлении азота. Также увеличению выхода оксинитрида и уменьшению коагуляции способствует введение в исходную шихту как разбавителя конечного продукта.
   
4. 
   Использование нитрида кремния для разбавления исходной шихты и смягчения условий синтеза не устраняет многофазность продукта, поскольку прямая реакция SiO₂ + Si₃N₄ → 2 Si₂N₂O протекает в волне горения не до конца.